ICP灭火的原因
可以查一下氩气纯度，我们就是因为氩气纯度不好，有的根本点不着火，有的能点着，但用着过程自己就灭了，换瓶好的，就没事了。 4 回答 · 2 关注共4个回答
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看看气体是否纯度够；是不是线圈上有水？
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看看雾化室有没有积水。
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单独讲灭火：１．Ar 不纯２．泵管漏气．３．ＲＦ功率发生器４．工作线圈５．各种工作气体的流量．６．泵夹松到．７．工作环境条件．
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跟你说你可能不相信，有可能是电源坏了。去年年底我们的就是这样的，测量没有问题，就是熄火。还以为是气的问题，最后才发现是电源不行了，换了一个2w多
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