如何对RF发生器进行
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如何对RF发生器进行维护保养?

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我以前用的就是七十年代上海产的自激式振荡电路ICP光源,也用过河北保定产的他激式振荡电路的ICP光源,但已在数年前鸟枪换炮了。记得过去差不多一年就要清理大功率振荡上的纯铜的连接部分及振荡线圈,非常麻烦的啦。
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不是厂家的工程师,怎么保养啊,万一有个三长两短谁负责啊。
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你说什么?
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不要在很短的时间内反复开关。
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稳压+ups+冷却
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