我怀疑气源的问题，他们用的是氮氢空一体机，不知道是哪个宝气给他们配的。

检查一体机是否出现问题。

检查载气是否打开了，或是压力不够。

一体机气流量不足吗？

这是流量没开啊

安家的仪器出现这个问题较多。

其实个人很反对使用三气发生器。

不会是EPC坏了吧

重新打开后，又会出现这个故障。