高频发生器一般包括电源、振荡器和工作线圈，有些仪器还有功率稳定线路和阻抗匹配单元。高频发生器的作用是产生高频磁场供给等离子体能量。频率多为27 ~ 50MHz，最大输出功率通常是2 ~ 4 Kw。