RF就是指高频电源，按你的现象是高压加上了，直流升压部分应该没问题，但因为，不稳定而自动保护熄火，不知你的是自激式电源还是它激式电源，自激式电源可能是反馈上出问题了，它激式可能是振荡器出问题了。　　加在ICP光源上的不是直流电压，是射频交流高压。