检测器＼光学系统＼

加上CID。这个要是有问题，那做的数据白搭

还有RF发后器。

ICP最主要的部分是:ICP离子源,质量分析器,检测与数据处理系统.还有辅助部分:RF发生器,样品引入系统,接口与离子光学透镜,多级真空系统和计算机系统.

我感觉是RF发生器和电源,非常的昂贵而且容易坏.

　　ICP光谱仪是由ICP光源、进样装置、分光装置、检测器和数据处理系统组成。其中ICP光源由高频发生器、石英炬管和高频感应线圈组成；进样装置是由蠕动泵（一些仪器直接利用同心雾化器提升）、雾化器和雾室等组成；分光装置由入射狭缝、分光元件、若干光学镜片组成及出射狭缝（全谱直读型没有）；检测器现在用的主要是光电倍增管和固体成像器件（目前主要有CCD和CID）；数据处理系统主要有计算机、数据通讯版和仪器控制及数据处理软件组成。

进样系统//