无机质谱仪，主要用于无机元素微量分析和同位素分析等方面，它与有机质谱仪工作原理不同的是物质离子化的方式不一样：无机质谱仪是以电感耦合高频放电(ICP)或其他的方式使被测物质离子化。
 　　无机质谱仪可以分为火花源质谱仪、离子探针质谱仪、激光探针质谱仪、辉光放电质谱仪、电感耦合等离子体质谱仪。无机质谱仪测试速度快，结果精确。
 　　样品溶液由蠕动泵和雾化气的共同作用下经雾化器的雾化作用形成气溶胶，进入雾室，经雾室选择后，较小直径的气溶胶在约6000-8000K高温下的等离子体中被去溶、蒸发、原子化和离子化，绝大部分变成带一个电荷的正离子，离子在高速喷射流的作用下，经采样锥和分离锥后进入质谱仪的真空系统，在离子透镜的能量聚焦作用后，不同质荷比离子选择性通过四极杆质量分析器，后到达检测器进行检测。
 　　无机质谱仪广泛用于地质学、矿物学、地球化学、核工业、材料科学、环境科学、医学卫生、食品化学、石油化工等领域以及空间技术和工作等特种分析方面。
 　　无机质谱的分类如下
 　　1、按分析目的可分：实验室无机质谱仪和工业无机质谱仪。
 　　2、按分析规模可分：小型无机质谱仪和大型无机质谱仪。
 　　3、按结构可分：台式无机质谱仪和落地式无机质谱仪。
 　　4、按进样方式可分：间歇式进样无机质谱仪、直接探针进样无机质谱仪和色谱进样无机质谱仪等。
 　　5、按联用方式可分：无机气质联用仪、无机液质联用仪、等离子体无机质谱仪和无机串联质谱仪等。