蒸汽过多，建议采用排气方式处理，其他方法不经济。

洁净空间不应有产生大量外泄水蒸气的设备，抽气则会降低洁净间的正压乃至变为负压，所谓洁净环境就破坏了。清洗液应尽可能不外露，直接排出室外。