真空干燥就是通过降低干燥室的压力以降低湿分的沸点，达到在低温下干燥的目的；工业微波真空干燥设备按其加热方式可分为传导式和对流式两大类；回顾工业干燥器的发展，又可分为几个阶段。
五十年代以前，主要是以传导式（例如箱式烘箱、真空干燥箱）为主。从手工装卸料发展到半机械化、机械化和连续式干燥。五十年代以后，干燥技术的开发为满足工业干燥的处理量大、连续化、自动化的要求，重点进行了对流式干燥器的研究和开发。到七十年代初，对流式干燥器已取代传导式干燥器的主导地位。
随着工业的发展，在节能、环保、洁净等方面，对微波真空干燥设备提出新的要求，而这些又是对流式干燥器一时难以解决的要求，因而传导式又有着新的发展。从七十年代到八十年代初，各种新型的传导式干燥器（例如多层带式真空干燥器、双锥回转干燥器、叶片式、振动式干燥器等）取代对流式干燥器逐渐增多。当然为适应对节能、环保、洁净的要求，对流式也在设法加以改进，例如将传导式加热面与流化干燥器结合起来等。
真空干燥器属于传导式干燥，即将冷凝器、真空泵与传导式干燥器配套，形成真空干燥装置。由于真空干燥具有干燥温度低、干燥速率大、节能、设备密闭防污染等特点，因而传导式干燥器大部分可设计成真空干燥装置。微波真空干燥设备在生物制品、药品、饮品以及热敏性物料、氧敏性物料、溶剂回收待干燥中起到独特作用。
随着工业技术的不断发展，大多数采用密闭和接近密闭型的常压干燥设备都被设计成真空干燥设备。种类繁多，结构各异。其分类方法也不相同。按操作方式分，则可分为间歇式和连续式；按干燥过程中物料的状态分，则可分为静止型、翻动型、搅动型和振动型；按干燥机理分，可分为蒸发型和升华型。
由于微波真空干燥设备能用较低的温度有较高的干燥速率，能在低温下干燥热敏性物料，也可以干燥氧敏性物料。或有燃烧危险的物料，适用于干燥含有溶剂或有毒的气体的物料。溶剂回收容易，能将物料干燥成很低的水分，并可用于低含水率物料的进一步干燥，使真空干燥技术有很大的发展。因而成为目前干燥设备中主要类型之一。